Klasifikace čistých místností podle Federální normy USA 209 E

Klasifikace čistých místností podle Federální normy USA 209 E

Třída čistoty vzduchu ve vztahu ke koncentraci částic je definována číslem třídy podle Federální normy USA 209 E. Pro účely klasifikace se používají prahové hodnoty velikosti částic (spodní limity) v rozsahu 0,1 µm až 5,0 µm. Pro kvalifikaci místností nebo čistých zón v konkrétních měřicích bodech se používají počítadla částic ve vzduchu na principu rozptylu světla. Maximální povolený počet částic je stanoven na základě tabulky uvedené v tomto článku.

Název třídy2) Maximální přípustný počet částic v 1m3
stejně velkých nebo větších než hraniční rozměr1)
SI Anglická3) 0,1 µm 0,2 µm 0,3 µm 0,5 µm 5 µm
M1   350 75,7 30,9 10,0 -
M1.5 1 1 240 265 106 35,3 -
M2   3 500 757 309 100 -
M2.5 10 12 400 2 650 1 060 353 -
M3   35 000 7 570 3 090 1 000 -
M3.5 100 - 26,500 10,600 3,530 -
M4   - 75,700 30,900 10,000 -
M4.5 1 000 - - - 35 300 247
M5   - - - 100 000 618
M5.5 10 000 - - - 353 000 2 470
M6   - - - 1 000 000 6 180
M6.5 100 000 - - - 3 530 000 24 700
M7   - - - 10 000 000 61 800

1) Meze tříd dle tabulky jsou uváděny pouze pro klasifikaci a nemusí znázorňovat rozložení rozměrů, se kterými se můžeme setkat v jakékoliv konkrétní situaci.

2) Meze tříd pro vedlejší třídy mohou být stanoveny přibližně použitím následující rovnice:
částice / m3 = 10M (0,5/d)22 kde M je číselným vyjádřením třídy v soustavě jednotek SI, a „d“ je rozměr částice v mikrometrech nebo: počet částic / třetí mocnina stopy = Nc (0,5 / d)22.

3) Pro stanovení názvů a určení tříd se dává přednost názvům dle soustavy SI, i když dle zvyklostí lze používat anglické jednotky (USA).

Komentáře