Klasifikace čistých místností podle normy ISO 14644-1

Klasifikace čistých místností podle normy ISO 14644-1

Třída čistoty vzduchu ve vztahu ke koncentraci částic je definována číslem třídy podle normy ISO 14644-1. Pro účely klasifikace se používají prahové hodnoty velikosti částic (spodní limity) v rozmezí od 0,1 µm do 5,0 µm. Pro kvalifikaci místností nebo čistých zón v konkrétních měřicích bodech se používají počítadla částic ve vzduchu na principu rozptylu světla. Maximální povolený počet částic je stanoven na základě tabulky uvedené v tomto článku.

Číslo
klasifikace
(N)

Maximální přípustné množství částic v 1m3
s rozměrem rovným nebo větším než je limitní rozměr

 

0,1 µm

0,2 µm

0,3 µm

0,5 µm

1 µm

5 µm

1

10

2

-

-

-

-

2

100

24

10

4

-

-

3

1 000

237

102

35

8

-

4

10 000

2 370

1 020

352

83

-

5

100 000

23 700

10 200

3 520

832

29

6

1 000 000

237,000

102 000

35 200

8 320

293

7

-

-

-

352 000

83 200

2 930

8

-

-

-

3 520 000

520 000

29 300

9

-

-

-

35 200 000

8 320 000

293 000

Komentáře