Klasifikace čistých místností podle normy ISO 14644-1

Třída čistoty vzduchu ve vztahu ke koncentraci částic je definována číslem třídy podle normy ISO 14644-1. Pro účely klasifikace se používají prahové hodnoty velikosti částic (spodní limity) v rozmezí od 0,1 µm do 5,0 µm. Pro kvalifikaci místností nebo čistých zón v konkrétních měřicích bodech se používají počítadla částic ve vzduchu na principu rozptylu světla. Maximální povolený počet částic je stanoven na základě tabulky uvedené v tomto článku.

Číslo klasifikace (N)	Maximální přípustné množství částic v 1m³ s rozměrem rovným nebo větším než je limitní rozměr
	0,1 µm	0,2 µm	0,3 µm	0,5 µm	1 µm	5 µm
1	10	2	-	-	-	-
2	100	24	10	4	-	-
3	1 000	237	102	35	8	-
4	10 000	2 370	1 020	352	83	-
5	100 000	23 700	10 200	3 520	832	29
6	1 000 000	237,000	102 000	35 200	8 320	293
7	-	-	-	352 000	83 200	2 930
8	-	-	-	3 520 000	520 000	29 300
9	-	-	-	35 200 000	8 320 000	293 000